公开/公告号CN113045786B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.11.08
原文格式PDF
申请/专利权人 广西大学;
申请/专利号CN202110361843.4
申请日2021.04.02
分类号C08J5/18;C08L1/28;C08L5/08;C08L3/08;C08L5/06;C08L5/04;C08L97/00;C08L91/00;C08K5/1545;C08K5/1535;C08K3/24;C08K5/13;C08K5/07;C08K5/092;
代理机构南宁市来来专利代理事务所(普通合伙);
代理人来光业
地址 530004 广西壮族自治区南宁市西乡塘区大学东路100号
入库时间 2022-11-28 17:56:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-08
授权
发明专利权授予
机译: 低温可固化多功能陶瓷涂层成膜材料的制造方法及低温可固化多功能陶瓷涂层成膜的方法
机译: NiSi膜的成膜方法,硅化物膜的成膜方法,硅化物退火用金属膜的成膜方法,真空加工装置及成膜装置
机译: 用于面板上的成膜极化膜的成膜棒,成膜设备和使用该成膜方法的成膜方法