公开/公告号CN100546022C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 阿德文泰克全球有限公司;
申请/专利号CN200580045262.9
发明设计人 托马斯·P·布罗迪;约瑟夫·A·马尔卡尼奥;
申请日2005-12-20
分类号H01L23/52(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人顾红霞;张天舒
地址 英属维尔京群岛托托拉岛
入库时间 2022-08-23 09:03:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-09-30
授权
授权
2008-02-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-19
公开
公开
机译: 用于生产气相沉积掩模的金属板,金属板的制造方法,气相沉积掩模,气相沉积掩模的制造方法,以及包括气相沉积掩模的气相沉积掩模装置
机译: 用于制造气相沉积掩模的金属板,一种制造金属板的方法,气相沉积掩模,用于制造气相沉积掩模的方法,以及包括气相沉积掩模的气相沉积掩模装置。
机译: 用于生产气相沉积掩模的金属板,金属板的制造方法,气相沉积掩模,气相沉积掩模的制造方法,以及包括气相沉积掩模的气相沉积掩模装置