生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法

摘要

本发明涉及蓝宝石单晶板材制备技术，具体涉及一种生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，解决蓝宝石制备中最后形态为大尺寸板材状的问题。生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，包括保温箱、坩埚组、坩埚托板、支撑杆、导热杆、导热杆电机、加热体、电极、电极连接杆、坩埚盖，保温箱内设有加热体，坩埚组位于加热体之间，坩埚组包含平板形坩埚，平板形坩埚的底部呈倒梯形状，坩埚上方设有坩埚盖，最下端水平放置籽晶，在保温箱底部穿设有导热杆，导热杆上端与平板形坩埚底部接触，加热体上连接有电极以及电极连接杆。该热场温度梯度合理、温场稳定、保温效果良好，能够生产大尺寸蓝宝石板材，确保晶体的高质量。