相移双分激励的耦合型局域人工表面等离激元谐振结构

摘要

本发明提供一种相移双分激励的耦合型局域人工表面等离激元谐振结构，该结构采用片上工艺设计生产，由金属外环谐振器（1）、金属内环谐振器（2）、内环馈电线（3）、外环馈电线（4）组成。金属内环谐振器位于金属外环谐振器中，金属内环谐振器通过金属内环馈电线连接五十欧姆微带线（5）；金属外环谐振器通过金属外环馈电线连接五十欧姆微带线；五十欧姆微带线末端与信号焊盘（7）相连，作为信号输入端。该谐振结构简单，谐振强度大，品质因数高，场束缚性强，符合砷化镓、磷化铟等多种芯片工艺设计规则，通过等比例缩放，可以实现微波段、毫米波段、太赫兹波段的高Q值谐振器。