法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-21
授权
发明专利权授予
机译: 光学三维形状测量装置的空间测量误差检测装置,空间测量误差检测方法和校正方法,光学三维形状测量装置,光学三维形状测量装置的空间测量误差校准方法,公式式三维形状测量装置探测性能检验用光学平面标准
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机译: 分析模型生成程序,分析模型生成装置,分析模型生成方法以及具有分析模型生成方法的制造装置的方法