一种螺旋型线板等离子体放电模组及等离子体放电系统

摘要

本发明适用于等离子发生器技术领域，提供了一种螺旋型线板等离子体放电模组及等离子体放电系统，所述螺旋型线板等离子体放电模组包括外壳以及设置在外壳内的若干放电区域，所述外壳内安装有呈网状的低压部，每个所述放电区域内均设有与所述低压部对应的高压部，所述高压部由若干圈电性连接的电极丝组成，每圈电极丝之间均设有间隙，外壳内对应每个所述放电区域内均设有用于定位所述电极丝的安装载体，所述安装载体上还设有用于固定电极丝的调节件，本发明的有益效果是，通过设置的呈网状的低压部以及由若干圈电性连接的电极丝组成的高压部，利用电极丝曲率半径小的优点，来实现电晕放电产生等离子体。