能够运载处理对象进入并离开真空室的真空处理系统

摘要

第一和第二加载锁定机构安装在一个真空室内。一个外臂以及第一和第二机械臂安置在所述真空室的外面。所述外臂能够保持处理对象，并可以将所保持的处理对象送入第一加载锁定机构或送入第二加载锁定机构。所述第一机械臂可以在真空室外面的供应位置和第一加载锁定机构之间以及在所述供应位置和所述外臂之间传递所述处理对象。所述第二机械臂可以在所述供应位置和第二加载锁定机构之间以及在所述供应位置和所述外臂之间传递所述处理对象。