基于H型六点法的精密旋转轴系回转误差原位分离方法

摘要

本发明的一种基于H型六点法的精密旋转轴系回转误差原位分离方法，首先重构具有偏移因子的传递函数并基于该传递函数计算传感器的谐波不确定度到圆度误差的谐波不确定度的放大系数G(k)。根据G(k)预测由舍入误差和噪声引起的回转误差分离不确定度，计算使回转误差的整体不确定度最低的采样周期与测量角度。其次构建H型六点精密旋转轴系回转误差原位分离测量系统。最后通过改进型算法分离标准测量盘的圆度误差、超精密旋转轴系的空间误差，包括径向误差和倾斜误差。本发明的方法能在有限采样周期的情况下，降低由舍入误差和噪声引起的回转误差分离不确定度，实现有载状态下，对超精密旋转轴系的径向误差和倾斜误差进行在线、实时分离。