压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪

摘要

一种压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪。压电振动片(10)具有：基部(12)；从基部(12)在同一平面内呈放射状延伸的多个驱动用振动臂(16-1～16-4)和检测用振动臂(20-1～20-2)，在所述振动臂之间形成有：从基部(12)延伸的具有弹性的多个第1梁(32-1～32-4)，至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部(30-1～30-4)。在所述驱动用振动臂和检测用振动臂形成电极图形，连接半导体装置(80)并被驱动。该压电振动片(10)被收容在由基部部件(82)和盖部件(84)构成的容器内，构成压电振子(200)、振动型压电陀螺仪(90)。从而，可保持稳定的驱动振动和检测振动。