公开/公告号CN114485804B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.08.26
原文格式PDF
申请/专利权人 山东硅步机器人技术有限公司;同济大学;
申请/专利号CN202210335345.7
申请日2022.04.01
分类号G01D21/02;G01D11/30;B08B1/02;
代理机构烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人赵加鑫
地址 273500 山东省济宁市邹城市中心机电产业园恒丰路499号-6
入库时间 2022-09-26 23:17:37
机译: 基于物联网和大数据的大型工业园区污水处理场实时综合管理系统
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备