一种反射型太赫兹梳状滤波器

摘要

本发明公开了一种反射型太赫兹梳状滤波器，包括：半导体衬底及贴合于所述半导体衬底上的若干个金属薄层结构，所述金属薄层结构在半导体衬底上的分布方式为：N个表面区域，每个表面区域内包括m个金属薄层结构，区域内和区域间均呈周期性排布；所述金属薄层结构为亚波长级的金属结构单元；所述表面区域中的每个金属结构单元特征不同。表面区域数、金属薄层结构的个数和任一特征可根据实际的滤波需求进行调节；根据本发明，对太赫兹波有良好的选频特性，可调节性强，中心频率透射率高，可以实现多波段的梳状太赫兹波段的滤波，适用于多种具体的应用场景，结构简单，成本低廉，可以利用现有的成熟半导体工艺加工。