用于获得具有低密度孔的薄层的方法

摘要

本发明提出了一种用于确定将被转移到支撑衬底上的施主衬底部分的厚度的方法，所述部分在之后将受到包括至少一种操作的所选精整序列，该方法特征在于确定将被转移的最小厚度，以使所述转移部分：在精整序列的每个操作之后，呈现出小于所述最大密度的致命孔密度，以及一旦完成了整个精整序列就达到了所述的选择厚度。