法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/20 授权公告日:20090805 终止日期:20130813 申请日:20080813
专利权的终止
2009-08-05
授权
授权
2009-02-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-01-07
公开
公开
机译: 具有E.S.C.反馈控制的双偏置频率等离子体反应器在偏置电源输出端使用晶圆电压测量测量电压
机译: 具有E.S.C.反馈控制的双偏置频率等离子体反应器在偏置电源输出端使用晶圆电压测量测量电压
机译: 校准三轴加速度传感器的方法,包括通过相应的灵敏度滤波器和单独的偏置滤波器分别从测量变量中估计灵敏度参数和偏置参数。