具有漏光及阴影补偿的均匀性校正系统

摘要

提供一种具有漏光及阴影补偿的均匀性校正系统与方法。该系统包含多校正组件以及一光学补偿板。相邻的校正组件由一间隙相隔开。该光学补偿板包含具有多个间隙补偿区段的一图案。该图案具有一衰减，其与该光学补偿板的其余部分的衰减不相同。在该补偿板上的每一补偿区段的位置对应照明槽缝中相邻校正组件之间的相对应间隙的位置。每一补偿区段的宽度依据入射至该校正系统上的光线的角度而定。该图案可以位于该补偿板的上表面或底表面上。再者，该补偿板可以位于多个校正组件的上方或下方。