晶圆片盒旋转装置及片盒旋转升降设备

摘要

本发明涉及晶圆湿法腐蚀设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片盒旋转装置及片盒旋转升降机构。晶圆片盒旋转装置包括驱动器、连杆轴和片盒提篮；其中，驱动器与连杆轴传动连接，用于驱动连杆轴转动；片盒提篮与连杆轴固定连接，片盒提篮用于盛放片盒并能带动片盒旋转；驱动器通过连杆轴驱动片盒提篮围绕连杆轴的轴线旋转，并由片盒提篮同步带动片盒转动。片盒旋转升降设备包括上述晶圆片盒旋转装置。本发明提供的晶圆片盒旋转装置及片盒旋转升降设备，缓解了晶圆腐蚀厚度不均匀的问题，提高了晶圆的腐蚀效率。