一种双工作台曝光机的曝光方法

摘要

一种双工作台曝光机的曝光方法，所述曝光机包括第一工作台和第二工作台，首先对同批次的基板正面曝光：将基板正面向上放置于任一工作台上，曝光机构在基板正面曝光图形，通过背面靶标装置在PCB板背面制作背面对位标记；再对该批次基板反面曝光：将基板背面向上放置于任一工作台上，对位机构抓取背面对位标记，控制机构根据所述背面对位标记的图形确定曝光补偿值，曝光机构根据控制机构确定的曝光补偿值在基板背面曝光图形。通过采用不同的背面对位标记实现反面曝光的精确补偿，使得正反面图形精确对准，满足高精度的应用需求。