公开/公告号CN111564168B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 旺宏电子股份有限公司;
申请/专利号CN201910135026.X
申请日2019-02-21
分类号G11C13/00;H01L45/00;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
入库时间 2022-08-23 13:44:05
机译: 隐形特征检测装置,薄片识别装置,薄片处理装置,印刷检查装置以及隐形特征检测方法