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第1章 文献综述
1.1 引言
1.2 新型非挥发性存储器简介
1.2.1 相变存储器
1.2.2 铁电存储器
1.2.3 磁存储器
1.2.4 电阻式磁存储器
1.3 电阻式存储器研究进展
1.3.1 电阻开关特性分类
1.3.2 电阻式存储器的材料
1.3.3 电流传导机制
1.4 电阻开关效应的机制
1.4.1 灯丝理论
1.4.2 电荷俘获和释放机制
1.4.3 肖特基发射效应
1.5 电阻式存储器的集成结构
1.5.11R结构
1.5.21T1R结构
1.5.31D1R结构
1.6 本课题研究的内容及意义
第2章 电阻式存储器特性测试仪原理
2.1 几种测试方式的比较
2.2 电阻式存储器特性测试仪的原理
2.3 电阻式存储器寿命测试中的条件判断
2.4 本章小结
第3章 电阻开关特性测试系统的硬件实现
3.1 电阻开关特性寿命测试系统的结构图
3.2 USB2813A数据采集器.
3.2.1 USB2813A的DA模拟量输出模块
3.2.2 USB2813A的AD模拟量输入模块
3.2.3 USB2813A的数字信号输入/输出模块
3.3 限流保护设计
3.3.1 限流保护部分的组成
3.3.2 多路开关芯片ADG706
3.3.3 保护电阻之间的切换
3.4 测试样品台的搭建
3.5 本章小结
第4章 电阻开关特性测试系统的软件实现
4.1 系统软件的整体设计
4.1.1 程序设计框图
4.1.2 对话框的设计与初始化
4.1.3 设备对向的创建
4.2 程序主体部分设计
4.2.1 信号的输入/输出和电阻切换
4.2.2 数据的保存与读取
4.2.3 图形的绘制
4.3 单次电阻开关特性测试
4.4 本章小结
第5章 Au/Bi2O3/Si/Al薄膜电阻存储器寿命的研究
5.1 薄膜的制备方法
5.1.1 常用的薄膜制备法
5.1.2 射频反应磁控溅射法镀膜
5.2 薄膜的性能表征
5.2.1 X射线衍射(XRD)测试
5.2.2 薄膜的光学性能测试
5.2.3 I-V特性及寿命测试
5.3 Bi2O3薄膜的制备
5.3.1 不同沉积时间Bi2O3薄膜的制备条件
5.3.2 不同沉积时间Bi2O3薄膜厚度的计算
5.3.3 不同薄膜厚度对Bi203薄膜晶体结构的影响
5.4 Bi2O3薄膜的开关特性及其寿命测试
5.4.1 不同薄膜厚度对Bi2O3薄膜电阻开关特性的影响
5.4.2 不同薄膜厚度对Bi2O3薄膜电阻开关特性寿命的影响
5.5 本章小结
第6章 结论
致谢
参考文献
附录一
附录二
附录三
杭州电子科技大学;