簇化流体的流量控制方法以及该方法中所使用的簇化流体用流量控制装置

摘要

本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P₁与节流孔下游侧的气体的压力P₂之比P₂/P₁保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP₁(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上，或者向簇化流体中添加稀释气体使之达到分压以下，从而使得缔合的分子离解，之后使得变成了单分子状态的簇化流体通过所述节流孔流通。