一种ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液

摘要

本发明提出了一种用于ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液，以重量百分比为100％计算，所述蚀刻液包括磷酸20‑50％、硝酸3‑8％、硫酸1‑3％、醋酸10‑20％、抑制剂0.5‑2％和清洗剂0.1‑1.5％，余量为纯水；所述抑制剂包括无机钾盐和有机膦酸钠盐；所述清洗剂为纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物为纤维素与聚羧酸类化合物交联而得。纤维素交联聚羧酸类化合物，含有大量的羧基、羟基以及聚合烯酸，一方面与银离子螯合，使银离子沉淀，可减缓银蚀刻速率，另一方面纤维素交联聚合物与银离子和ITO螯合后，在形成沉淀的同时，还将金属离子从溶液中脱离出来，从而有效去除蚀刻后Ag和ITO残渣。