公开/公告号CN109839766B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 艾美柯技术株式会社;
申请/专利号CN201910268239.X
申请日2016-02-18
分类号G02F1/13;
代理机构
代理人
地址 日本茨城县
入库时间 2022-08-23 13:37:46
机译: 如何从板处理设备的桌子上卸下板处理设备和板
机译: 基板检查装置及具备该基板检查装置的基板处理装置
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