一种大规模阵列气体传感器及其制备方法

摘要

本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种大规模阵列气体传感器及其制备方法，所述传感器从下到上依次包括基底、信号电极阵列、中层绝缘层、测量电极阵列、顶层绝缘层、电极材料阵列以及一气敏膜，其中：信号电极阵列、测量电极阵列以及电极材料阵列的阵列单元相同，测量电极阵列中一半数量的阵列单元分别与电压供给端连接且每一连接支路上设置有开关，另一半数量的阵列单元分别与接地端连接且每一支路上设置有开关；电极材料阵列的阵列单元中各阵列单元的材料组分互不相同；气敏膜覆盖于电极材料阵列表面。本申请通过电极材料均不相同的阵列单元与同一气敏膜可以实现多种不同的气敏膜‑电极界面信号，进而可以实现对多种气体的精准识别。