用于光学投影系统中的薄膜可致动反射镜阵列

摘要

一种M×N薄膜可致动反射镜阵列，包括一开关矩阵、一M×N对支持件的阵列，及一M×N致动结构阵列，其中该有源矩阵包括一基板和印刷在其上的第一、第二和第三导线图案，且各致动结构设有一对致动器和一对门致动器。该致动结构中的门致动器与该开关矩阵上的第一、第二和第三导线图案相结合，使得可以免除在该M×N薄膜可致动反射镜阵列中使用晶体管。