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模拟分配糊状物参数的方法及能够模拟分配糊状物参数的装置

摘要

本发明提供了一种能够模拟在基板上形成给定糊状物图案的参数的糊状物分配器,该糊状物分配器包括:第一输入装置,图案参数被输入到该第一输入装置中;第二输入装置,分配参数被输入到该第二输入装置中;以及模拟信息产生装置,用于根据图案参数和分配参数来产生模拟信息,并根据该模拟信息来显示形成给定糊状物图案的模拟。本发明提供的优点在于,根据图案参数和分配参数,在监视器上可视地检查给定糊状物图案是否适当地形成在基板上,而无需在基板上实际分配给定糊状物图案。

著录项

  • 公开/公告号CN100524326C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-08-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 塔工程有限公司;

    申请/专利号CN200710106154.9

  • 发明设计人 赵容柱;

    申请日2007-05-24

  • 分类号G06F17/50(20060101);G02F1/1339(20060101);

  • 代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人章社杲;吴贵明

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-08-05

    授权

    授权

  • 2007-12-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-10-10

    公开

    公开

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