气液分离组件、用此组件的气液分离装置及气液分离方法

摘要

本发明公开了一种气液分离组件、用此组件的气液分离装置及气液分离方法，内设有一级、二级和三级气液分离，一级气液分离对来自于浸没单元中气液二相流进行初步气液分离，第二级气液分离实现第一级分离结构中的气液二相流的流量分流，将分流后的流量进行快速高效处理；二级气液分离后再经三级气液分离再次进行细致化的气液分离，更好确保了从分流块流出的气体和液体皆以较为纯净的形式流出，保证了本专利分离效果，本专利内的第一弧形板和第二弧形板都分别具有短暂蓄液效果，避免了现有气液分离装置压力波动大所引起的振动干扰问题，使得浸没式光刻机内的浸没单元在光刻过程中能够保持在可靠可控的操作范围内，同时具有设备占用体积小的优点。