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用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备

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摘要

本申请涉及用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备。在本发明的用于监视材料处理系统中的零件的改进的设备和方法中，所述材料处理系统包括处理设备、多个耦接到所述处理设备以产生和发射零件ID数据的RF响应零件标识器，以及被配置为从所述多个RF响应零件标识器接收所述零件ID数据的传感器接口组件(SIA)。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-01-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20090715 终止日期:20131125 申请日:20031125

专利权的终止
2009-07-15

授权

授权
2006-03-01

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-01-04

公开

公开

1. 用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备 [P] . 中国专利： CN100514541C . 2009.07.15
2. 用于监视排气后处理系统中的部件的方法、排气后处理系统和用于排气后处理系统的控制器 [P] . 中国专利： CN104603410A . 2015-05-06
3. Method and apparatus for monitoring parts in a material processing system [P] . 美国专利： US6985787B2 . 2006-01-10

机译：用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备
4. Method and apparatus for monitoring parts in a material processing system [P] . 日本专利： JP2006512761A . 2006-04-13

机译：用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备
5. Method and apparatus for monitoring parts in a material processing system [P] . AU2003296863A8 . 2004-07-22

机译：用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备