一种耐磨减摩碳掺杂TiAlN纳米多层硬质薄膜及制备方法

摘要

一种耐磨减摩碳掺杂TiAlN纳米多层硬质薄膜及制备方法，先对基材表面进行离子刻蚀，然后在基材表面沉积金属TiAl底层；在金属TiAl底层上沉积200‑400nm的TiAlN过渡层；在TiAlN过渡层上沉积TiAlN/TiAlCN纳米多层涂层；在TiAlN/TiAlCN纳米多层涂层的最顶层沉积TiAlCN表面涂覆层。本发明通过改变TiAlN过渡层和TiAlN/TiAlCN纳米多层涂层的调制周期和调制比之后，可以得知在现有工艺参数下，能够制备出的具有合适的调制周期和调制比的多层涂层，应用在钢材基体上制备耐磨和耐高温的硬质涂层上，可明显提高材料表面的耐高温、耐磨损性能和摩擦学性能。