压电微泵阵列、微系统及微系统的热管理方法

摘要

本发明提供一种压电微泵阵列、微系统及微系统的热管理方法，压电微泵阵列包括N个呈分布式连接的压电微泵单元，压电微泵单元具有第一端口、第二端口、第三端口及第四端口；N个压电微泵单元的第一端口通过流道连在一起，N个压电微泵单元的第四端口通过流道连在一起，且第i个压电微泵的第三端口通过流道与第i+1个压电微泵单元的第二端口连在一起；通过外部电信号对压电微泵阵列中的N个呈分布式连接的压电微泵单元进行控制，能有效改变N个压电微泵单元的串并联状态，串联使用时能提高流体的输出压强，并联使用时能提升流体的输入输出流量，从而能有效满足微系统的微流体散热时的大流量和高压强需求，提升微系统的散热效果。