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双极晶体管以及高频功率放大器模块

摘要

本发明提供具有能够使基极层变薄来实现高速化的结构的双极晶体管。在由化合物半导体构成的基板之上形成集电极层、基极层以及发射极层。发射极层在俯视时与基极层的边缘相比配置在内侧。在发射极层以及基极层的一部分的区域之上配置基极电极以形成在俯视时从发射极层的内侧到达基极层的外侧。在基极层中的不与发射极层重叠的部分和基极电极之间配置绝缘膜。合金层从基极电极在厚度方向上贯通发射极层并到达基极层。合金层包含基极电极的一部分的构成元素、和发射极层以及上述基极层的构成元素。

著录项

  • 公开/公告号CN109616516B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社村田制作所;

    申请/专利号CN201811024684.3

  • 申请日2018-09-04

  • 分类号H01L29/737(20060101);H01L29/735(20060101);H01L29/10(20060101);H01L27/102(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人舒艳君;李洋

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 13:27:25

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