公开/公告号CN109946335B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 成都虹波实业股份有限公司;
申请/专利号CN201910173295.5
申请日2019-03-07
分类号G01N25/12(20060101);
代理机构51217 成都睿道专利代理事务所(普通合伙);
代理人祝久亚
地址 610100 四川省成都市龙泉驿区成都经济技术开发区南京路198号
入库时间 2022-08-23 13:24:23
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法