公开/公告号CN113432099B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN202110626859.3
申请日2021-06-04
分类号F22B1/00(20060101);F22B1/02(20060101);F22D1/00(20060101);F22D5/34(20060101);F22D7/08(20060101);F22G1/16(20060101);F24S20/20(20180101);F24S60/30(20180101);F24S80/30(20180101);
代理机构61215 西安智大知识产权代理事务所;
代理人何会侠
地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 13:23:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
授权
发明专利权授予
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法