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适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构

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本发明涉及一种适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构，它包括具有平坦上侧面和平坦下侧面的标定表面(12)，该上、下侧面以预定的距离分开，其特征在于，标定表面(12)与至少一个边缘区域(18)分开，并且标定表面(12)通过至少一个过渡区域(14)连接到该至少一个边缘区域(18)上。

著录项

公开/公告号CN100510611C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-07-08

原文格式PDF
申请/专利权人赫尔穆特·费希尔地产两合公司;
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申请/专利号CN200580018528.0
发明设计人 H·费希尔;
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申请日2005-06-06
分类号G01B7/06(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人曹若;赵辛
地址德国辛德尔芬根
入库时间 2022-08-23 09:02:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-07-22

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 7/06 授权公告日:20090708 终止日期:20140606 申请日:20050606

专利权的终止
2009-07-08

授权

授权
2007-09-05

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-07-11

公开

公开

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1. 适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构 [P] . 中国专利： CN100510611C . 2009.07.08
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