一种谐振器型声表面波双轴陀螺

摘要

本发明涉及一种谐振器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定于基板顶面的4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片，制作于基板顶面的1个输入导引电极、8个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作于基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线；所述4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片分别为第一偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第二偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第三偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第四偏轴双端对声表面波谐振器芯片。通过本发明，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。采用复合结构声表面波谐振器作为敏感元件的双轴陀螺，用于感测正交双轴角运动，结构简单，制作方便。