公开/公告号CN100490114C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN200380102322.7
申请日2003-10-23
分类号H01L21/768(20060101);H01L21/285(20060101);H01L21/288(20060101);
代理机构北京嘉和天工知识产权代理事务所;
代理人严慎
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:02:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 授权公告日:20090520 终止日期:20181023 申请日:20031023
专利权的终止
2009-05-20
授权
授权
2009-05-20
授权
授权
2006-02-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-02-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-12-14
公开
公开
2005-12-14
公开
公开
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