基于迈克尔逊干涉的混合集成光学加速度计

摘要

本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉的混合集成光学加速度计。本发明的窄线宽光源的光经过模斑转换器后耦合进入输入波导，沿着第一横向条形槽在2:1型Y波导上实现分光，第一光束先沿着第二横向条形槽通过第三球透镜、第一F‑P腔输入镜和第四球透镜后进入第一弯波导，沿着纵向条形槽通过第五球透镜后在弹簧振子结构的质量块的后表面反射按原路返回，第二光束则先沿着第三横向条形槽进入第二弯波导，沿着纵向条形槽通过第六球透镜后在弹簧振子结构的质量块的前表面反射按原路返回，两束光耦合进入1:2型Y波导分支后直接耦合进入光电探测器。本发明探测灵敏度高，结构紧凑，集成度高，制备工艺简单，可靠性高，抗电磁干扰且具有一定的环境适应性。