用于脉冲电镀的电镀装置

摘要

本发明提供一种用于脉冲电镀的电镀装置，其包括电极组，所述电极组包括阳极，以及靠近阳极设置的阀金属电极，所述阀金属电极设有镂空区域，所述阳极与所述阀金属电极导电连接。本发明于电镀阳极的阳极的周边靠近阳极之处设置阀金属电极，于脉冲电镀中，处于反向电流时，阀金属电极的作用下，处于电镀阴极的电路板上的镀层的大电流区的较厚的电镀层被部分蚀刻，从而使得电路板上镀层整体都较为均匀，保证后续蚀刻流程线路的精度。反向脉冲电流作用于电镀槽时，直接面对电路板的阀金属即为阴极吸引了绝大部分的电流，从而非常有效地阻挡反向电流对阀金属后面的贵金属氧化物涂层电极的损伤，有效地延长贵金属氧化物涂层使用寿命。