公开/公告号CN113054114B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 吉林大学;
申请/专利号CN202110273335.0
申请日2021-03-15
分类号H01L51/48(20060101);H01L51/42(20060101);H01L51/46(20060101);
代理机构22201 长春吉大专利代理有限责任公司;
代理人刘世纯;王恩远
地址 130012 吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号
入库时间 2022-08-23 13:16:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
授权
发明专利权授予