一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法

摘要

本发明属于气体标准物质制备领域，具体涉及一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法。高真空清洗装置包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；通过不锈钢波纹管线系统与气瓶连接，设计了两路抽气系统，通过机械泵先预抽后切换分子泵配合深度抽气，防止气瓶和管路中的常压气体对分子泵造成损伤；抽气系统连接质谱仪在线分析残余气体，可实时对气瓶清洗情况进行监控；本方案清洗过程中可在线增加气瓶而无需关闭泵组；可在气瓶瓶身环扣控温加热套，在抽洗同时对气瓶加热处理，有效去除气瓶中的残余水分和易吸附的杂质。采用本装置及方法抽洗的气瓶，真空度高，通过在线分析保证控制目标杂质组分余量达标。