TFT基板、具备TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法

摘要

TFT基板(105)具备：包含多个天线单位区域(U)的发送接收区域(R1)；以及位于发送接收区域以外的区域的非发送接收区域(R2)。多个天线单位区域各自具有TFT(10)和电连接到TFT的漏极电极(7D)的贴片电极(3PE)。TFT基板具有：源极金属层(7)，其包含TFT的源极电极(7S)、漏极电极以及源极总线(SL)；栅极金属层(3)，其形成在源极金属层上，包含TFT的栅极电极(3G)和栅极总线(GL)；栅极绝缘层(4)，其形成在源极金属层与栅极金属层之间；层间绝缘层(11)，其形成在栅极金属层上；以及导电层(19)，其形成在层间绝缘层上。贴片电极包含于栅极金属层。