一种扫描电化学显微镜及其校正方法

摘要

本发明公开了一种扫描电化学显微镜，包括：三维滚珠丝杠扫描器、三维压电扫描器、导电探针、导电基底、工作平台和微控单元，所述三维滚珠丝杠扫描器包括X调节轴、Y调节轴和Z调节轴；X调节轴、Y调节轴和Z调节轴两两相互垂直设置，所述X调节轴设置在工作平台上，所述三维压电扫描器设置在Z调节轴的上，本方案的扫描电化学显微镜内部集成稳定性较高的滚珠丝杠扫描器、压电扫描器、导电探针、导电基底和微控单元，通过滚珠丝杠扫描器对压电扫描器的扫描范围和线性度进行校正，避免了使用精密距离测试仪器或标准样品，具有操作简便和成本较低的优势。