一种非均质跃变表面形貌自动测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种非均质跃变表面形貌自动测量装置及方法，涉及形貌测量技术领域，测量装置通过建立光谱轴向色差系统，使得满足共焦条件的单色光的波长与轴向距离形成映射，对光谱仪测得的单色光波长进行分析即可实现表面距离测量，待测样品固定在与轴向垂直的二维运动导轨平台上，通过控制二维运动导轨运动扫描测量待测样品表面，进而实现表面形貌测量；测量方法通过对导轨扫描轨迹规划，在距离数据采集前先对光强信息进行采集，并据此对光谱仪的参数进行动态调整；本发明有效解决了非均质跃变表面在形貌测量过程中，因材质吸光特性差异导致光强差异较大，进而导致距离数据缺失或异常的技术问题，实现非均质跃变表面形貌自动测量。