一种激光诱导击穿-拉曼光谱联用系统

摘要

本发明公开一种激光诱导击穿‑拉曼光谱联用系统，包括：显微成像系统，Raman光路系统，LIBS光路系统，激光辅助对焦系统，三维位移样品台，计算机控制系统；显微成像系统包括：显微成像光路系统，显微物镜；显微成像光路系统通过显微物镜获取样品的显微图像；Raman光路系统和LIBS光路系统均通过显微物镜作用于样品表面，并获取样品的Raman光谱和LIBS光谱；激光辅助对焦系统包括至少两个激光指示器，其发出的激光可在显微物镜的工作距离上汇聚成一点；显微成像光路系统、Raman光路系统、LIBS光路系统、三维位移样品台均与计算机控制系统电性连接。本发明提供的技术方案，能够快速地对各种形状的样品进行检测，且与现有的联用系统相比，提高了检测精度。