用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置

摘要

本发明提供了一种用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，包括：底玻璃板、顶玻璃板、设置在底玻璃板和顶玻璃板之间的多级压电陶瓷纳米定位器、以及与多级压电陶瓷纳米定位器中的各级所述压电陶瓷纳米定位器并联的直流调压器；本发明完全满足高压釜内部可利用空间狭小的需求；控制精度高，垂向位移在0～10μm范围内连续调整；调节精度±20nm；应用简单，易于操控。