一种重离子束流均匀度测试系统和方法

摘要

本发明涉及一种重离子束流均匀度测试系统和方法，该系统包括SRAM测试芯片、单粒子效应测试系统以及重离子辐照终端；SRAM测试芯片作为研究重离子束对器件造成的单粒子翻转效应的载体，设置在单粒子效应测试系统中；重离子辐照终端设置在SRAM测试芯片一侧，且重离子辐照终端的束流窗口与SRAM测试芯片对准，用于为SRAM测试芯片提供预设注量率的重离子；单粒子效应测试系统与SRAM测试芯片之间建立实时通讯，用于对重离子辐照后的SRAM测试芯片上发生单粒子翻转效应的情况进行实时读取，并根据实时读取结果获得重离子辐照终端输出的重离子均匀度。本发明可以广泛应用于重离子束均匀度测试领域。