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公开/公告号CN113672001B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 常州铭赛机器人科技股份有限公司;
申请/专利号CN202111179816.1
发明设计人 苗虎;曲东升;郜福亮;李长峰;史晔鑫;王国鑫;胡君君;陈文杰;杨军福;
申请日2021-10-11
分类号G05D16/20(20060101);
代理机构32409 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙);
代理人朱丽莎
地址 213100 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦
入库时间 2022-08-23 13:06:38
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机译: 半导体设备的压力测量装置校准装置以及使用该校准装置的压力测量装置校准方法
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