薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器

摘要

本发明提出了薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器，所述薄膜体声波谐振器结构。薄膜体声波谐振器包括带有梯形凹槽的基体；所述基体上方布设有缓冲层；所述凹槽和缓冲层之间形成第一空腔；所述缓冲层上方设置有几字形压电层；所述压电层的几字形凸起下表面设有第一电极；所述第一电极与所述缓冲层之间形成第二空腔；所述几字形压电层的上表面设有第二电极；所述保护层覆盖与所述第二电极和外露的沉积压电层表面。