自动聚焦系统、自动聚焦方法及使用该系统的曝光设备

摘要

一种自动聚焦系统包括，其上安装衬底的载物台，以不同的角度用导向衬底的大量聚焦光束照射衬底的光源，探测从衬底反射的聚焦光束的传感器，以及控制器，根据由传感器探测聚焦光束的位置决定衬底表面的相对位置并由此放置衬底。为此，控制器执行计算，不受聚焦光束通过其传播到衬底表面的介质的折射率变化影响。因此，用较高的精度进行自动聚焦工序。