基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统和方法

摘要

本发明涉及一种基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统及方法，包括三色光源模块、分束器、测量光路、彩色成像模块与数据处理模块，其中：三色光源模块，用于整个系统的照明；分束器，用于将三色光源模块产生的照明光束分成两路光束，分别为测量光束与参考光束；彩色成像模块，分时控制光路通断，使用彩色相机分别对待测样品和标准样品进行成像；将两次成像时的光强图像按照感光面元上红、绿、蓝三个通道分别读出，获得样品三色光下的显微光强图像；数据处理模块，使用差分反射的计算方法，得到对应于红光、绿光、蓝光下被测样品的显微差分反射信号；利用模型反演与数据拟合的方法，获得各像素被测二维材料的厚度，结合像素排布，完成对二维材料形貌的表征。