版图的拆分方法与拆分系统

摘要

本申请提供了一种版图的拆分方法与拆分系统。该拆分方法包括：将版图中的至少一部分按照预拆分规则进行多种预拆分，形成多种版图组；对不同的版图组进行仿真，得到各版图组的坏点总数；提取坏点总数最少的版图组对应的拆分规则，以对版图进行拆分。该拆分方法中，先进行预拆分，该拆分过程将版图按照多种方式拆分为多种版图组，然后，对各版图组进行仿真，得到各种版图组的坏点总数，最后，比较各版图组的坏点总数，提取坏点总数最少的版图组对应的拆分规则，以对所述版图进行拆分。该拆分方法中最终的拆分方案是坏点总数最少的拆分方案，这样能够保证拆分得到的掩模图形的成像效果相对较好。