一种低能电子衍射仪

摘要

本发明提供一种低能电子衍射仪，包括：电子发生装置、带电粒子光学系统、样品及二维图像型电子探测器。电子发生装置用于生成电子;带电粒子光学系统包括磁场及非轴对称电透镜群，磁场用于分离入射及出射带电粒子的运动轨道，并实现带电粒子运动方向的偏转；非轴对称电透镜群用于补偿磁场光学特性在垂直及平行磁场方向的非对称性，减小像差，并使带电粒子束在像平面上在沿垂直磁场方向和平行磁场的两个方向上同时成像。本发明的低能电子衍射仪可以实现入射和出射带电粒子轨道的分离，从而避免各个部件的几何配置困难，实现无电子枪阴影的低能电子衍射测量并使时间分辨低能电子衍射测量更为便利。